网格光栅变形检测方法网格光栅变形检测方法主要包括以下几种：目视检查目视检查是最直观且基础的方法。检查人员需仔细观察光栅的外观，查看是否有破损、划痕或明显的变形。此外，还可以借助显微镜进一步观察光栅的细节，如线条是否完整、有无堵塞或缺失，以及表面是否粗糙或有阶梯形变。激光干涉法激光干涉法是一